Reinraum

Klasse 1000, Nutzfl?che ca. 100 m2

?

• Aufdampfanlagen
• Ionenstrahl?tzanlage
• Plasma?tzanlage
• Oxidationsanlage
• Reaktive Ionen?tzanlage
• Wetbenches
  • Lackschleuder
  • Trocken?fen
• Maskenbelichtungsanlage
• Oberfl?chenprofilometer
• Kritischer Punkttrockner
  • Nass?tzen von NEMS-Strukturen
• FE-Rasterelektronenmikroskop (in Planung)

?

Chemie/Biologie

• Biophysik
• Makromolekulare Pr?paration
• Ultrazentrifugen
• Ultraschall-Homogenisator
• Handschuhbox
• Filmwaage

?

Optische Untersuchungen

• Fluoreszenzmikroskope
• Lumineszenzmesspl?tze

?

Strukturuntersuchungen

• R?ntgendiffraktometer
• Transmissionselektronenmikroskop (TEM)

?

Thermische Analyse

• Differentialkalorimeter (DSC)
• Hochtemperatur-DSC (SETARAM)

Mechanische Eigenschaften

• Materialprüfmaschinen
  • Instron
  • Zwick
• H?rteprüfer

?

Magnetische Untersuchungen

• Tieftemperaturmesspl?tze
• Kerrmessplatz
• F?rstersonde

?

Probenpr?paration

• Lichtbogenofen
• Kugelmühle
• Handschuhbox
• Walze
• Ionen-Poliersystem
• Elektrolytische Dünnung
• Mechanische Dünnung

?

Hochfrequenzmesspl?tze

Frequenzen bis 20 GHz

• Abschirmkabine

?

Mikrofluidikmesspl?tze

• Videomikroskope
• PC-gesteuerte 3-Achsen Fr?smaschine zur Herstellung fluidischer Kleinteile